华南师范大学2025年08月至2025年09月政府采购意向——电子束蒸发系统

标的名称：DGM-269电子束蒸发系统

标的数量：1

主要功能或目标：满足国家级物理实验教学示范中心、教育部基础学科拔尖学生培养计划2.0的教学实验平台建设需求。该设备在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜，是半导体微纳加工设备之一。

需满足的要求：1.优质SUS304不锈钢材料的主腔体和过渡腔体。 2.采用进口涡旋分子泵和涡旋干泵本底真空优于9x10-7Pa。 3.T-S基距：＞450mm。 4.电E型电子枪，工作真空10-9mbar； 配6穴直冷式坩埚。 5.高精度膜厚控制仪，厚度和速率分辨率/测量：±0.015 Å，速率显示：0.01 Å/秒。 6.设备可升级高通量掩模版，通过掩膜板的运动在基片上实现连续二元和三元组分薄膜沉积。