福州大学喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目公开招标招标公告

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2025-08-21

招标公告 | 招标

机械设备

有联系方式

发布日期：

2025-08-21

开标时间：

2025-09-11

项目编号：

[350001]FJJF[GK]2025003

采购单位：

福州大学

代理单位：

福建省金丰招标代理有限公司

预算金额：

792.40万

工期：

120个日历日

公告联系方式：

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采购产品：

喷涂式光刻胶涂覆机等设备

项目概况

受福州大学委托，福建省金丰招标代理有限公司对[350001]FJJF[GK]2025003、福州大学喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目组织公开招标，现欢迎国内合格的供应商前来参加。福州大学喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件，并于2025年09月11日 09时00分00秒（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：[350001]FJJF[GK]2025003

项目名称：福州大学喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目

采购方式：公开招标

预算金额：7,924,000.00元

采购包1(喷涂式光刻胶涂覆机等):

采购包预算金额：7,924,000.00元

采购包最高限价： 7,924,000.00元

投标保证金： 79,240.00元

采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）

品目号	品目编码及品目名称	采购标的	数量（单位）	允许进口	简要需求或要求	品目预算(元)	中小企业划分标准所属行业
1-1	A02109900-其他仪器仪表	喷涂式光刻胶涂覆机	1(台)	否	1.光刻胶厚度最薄可控制在50纳米2.可高均匀性沉积30微米以上的加厚胶层3.可进行超声波雾化喷涂4.可在高低起伏50微米以上的晶圆表面涂覆光刻胶服务： 1、质量保证期：一年，验收合格之日起计算。 2、保修期内：免费进行设备安全调试；免费上门维修保养及更换配件。 3、保修期外：设备保修期过后，收到用户方通知后2小时内响应，只收取配件费，且以最优惠价格提供。验收要求：（1）验收标准供货方所提供的设备必须是制造厂家生产的崭新的未开箱的原包装设备。所有设备按厂家设备验收标准（符合国家或行业或地方标准）、招标文件、投标文件等有关内容进行验收。（2）验收程序和方法 ①出厂检验供货方在设备出厂前，应按设备技术标准规定的检验项目和检验方法进行全面检验。 ②中标人自检设备在安装地安装完毕后，要求供货方对所有设备的性能进行自检，同时向采购人提供自检记录。 ③验收与最终验收供货方自检后，供货方与采购人一同按招标文件以及合同相关条款要求对设备进行验收。供货方需派有设备调试经验的技术人员对设备进行调试，按验收指标逐项测试，直至全部达到要求。（3）验收所发生的一切费用均由供货方承担。	1,479,000.00	工业
1-2	A02109900-其他仪器仪表	激光扫描共聚焦显微镜	1(台)	否	1.有半导体激光器（如405nm）或固体激光器（如561nm），光纤出口功率≥20mW 2.荧光检测通道采用不少于4个独立的高灵敏度探测器（PMT），1个透射DIC检测通道3.电动小孔：实现无级变速小孔，调节范围：0到10AU 4.扫描速度：≥4幅/秒(512X512)；扫描视野：视野≥22mm 服务： 1、质量保证期：一年，验收合格之日起计算。 2、保修期内：免费进行设备安全调试；免费上门维修保养及更换配件。 3、保修期外：设备保修期过后，收到用户方通知后2小时内响应，只收取配件费，且以最优惠价格提供。验收要求：（1）验收标准供货方所提供的设备必须是制造厂家生产的崭新的未开箱的原包装设备。所有设备按厂家设备验收标准（符合国家或行业或地方标准）、招标文件、投标文件等有关内容进行验收。（2）验收程序和方法 ①出厂检验供货方在设备出厂前，应按设备技术标准规定的检验项目和检验方法进行全面检验。 ②中标人自检设备在安装地安装完毕后，要求供货方对所有设备的性能进行自检，同时向采购人提供自检记录。 ③验收与最终验收供货方自检后，供货方与采购人一同按招标文件以及合同相关条款要求对设备进行验收。供货方需派有设备调试经验的技术人员对设备进行调试，按验收指标逐项测试，直至全部达到要求。（3）验收所发生的一切费用均由供货方承担。	1,488,000.00	工业
1-3	A02109900-其他仪器仪表	超硬晶圆激光切割机	1(台)	否	1.切割速度可达300-400 mm/s2.崩边不大于5微米3.可切割厚度达8 mm的晶圆4.配备皮秒紫外激光器服务： 1、质量保证期：一年，验收合格之日起计算。 2、保修期内：免费进行设备安全调试；免费上门维修保养及更换配件。 3、保修期外：设备保修期过后，收到用户方通知后2小时内响应，只收取配件费，且以最优惠价格提供。验收要求：（1）验收标准供货方所提供的设备必须是制造厂家生产的崭新的未开箱的原包装设备。所有设备按厂家设备验收标准（符合国家或行业或地方标准）、招标文件、投标文件等有关内容进行验收。（2）验收程序和方法 ①出厂检验供货方在设备出厂前，应按设备技术标准规定的检验项目和检验方法进行全面检验。 ②中标人自检设备在安装地安装完毕后，要求供货方对所有设备的性能进行自检，同时向采购人提供自检记录。 ③验收与最终验收供货方自检后，供货方与采购人一同按招标文件以及合同相关条款要求对设备进行验收。供货方需派有设备调试经验的技术人员对设备进行调试，按验收指标逐项测试，直至全部达到要求。（3）验收所发生的一切费用均由供货方承担。	1,490,000.00	工业
1-4	A02109900-其他仪器仪表	喷淋式晶圆清洗机	1(台)	否	1.可清洗 2~12寸晶圆。2.清洗后晶圆表面粒子数量≤5个/晶片，粒子尺寸≤ 0.08μm，具体数值取决于清洗工艺和原始污染情况3.金属污染物含量≤1*1010 atoms/cm24.喷淋压力≥ 0.6MPa 5.主轴转速400~3000r/min6.清洗溶剂：去离子水、酸性溶液、碱性溶液、有机溶剂（丙酮、异丙醇）。7.可程序化控制，搭配不同清洗液体和清洗时间。	1,485,000.00	工业
1-5	A02109900-其他仪器仪表	Micro-LED自动光学检测AOI设备	1(台)	否	1.亚微米级高分辨率变倍显微成像系统2.高精度，亚像素级亮度与色度测量，误差＜3%3.微纳米级空气轴承平台，平整度＜5um 4.单次测量覆盖0.7吋屏体（PPI=3000）5.景深大（＞40um），有效提高成像系统稳定性6.自动追焦，自动曝光，自动调参，自动变倍7.一套光机，三大功能：DeMura/AOI/AVI 检修一站式完成8.自主研发AOI算法，支持Cell异物分层检测，支持深度学习缺陷检测与自动分类9.恒温载台，保证检测结果稳定性	1,982,000.00	工业

本采购包不接受联合体投标

合同履行期限：合同签订之日起120个日历日内交货。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

采购包1：无

3.本项目的特定资格要求：

采购包1：

(1)①本采购包允许供应商采用资格承诺制。采用资格承诺制的供应商，应当根据投标(响应)格式文件要求提供资格承诺函，无需提供《政府采购法实施条例》第十七条第一款规定的一般资格条件证明材料；资格承诺函不符合采购文件要求的，视为未按照采购文件规定提交供应商的资格及资信文件，按资格审查不合格处理。②采购项目有特殊资格要求的，供应商还应按要求提供相应的证明材料。。