住友精密和美国AMFitzgerald结成联盟，加速压电MEMS产品的商业化

合作结盟——加快技术商业化

微机电系统（MEMS）产品开发公司A.M. Fitzgerald & Associates（AMFitzgerald）和住友精密制品株式会社（Sumitomo Precision Products，简称SPP）旗下的MEMS Infinity（一家提供全方位服务的MEMS硅晶圆代工厂）今天宣布建立战略和技术联盟，以加快PZT MEMS薄膜芯片技术的商业化。

PZT（锆钛酸铅薄膜）是一种多功能压电材料，在MEMS传感器或执行器中备受追捧，这些传感器或驱动器服务于高增长应用，如真无线立体声、汽车激光雷达、医疗超声成像、AR/VR、触觉和其他需要以坚固、超小型化的外形尺寸实现精确性能的应用。

AMFitzgerald创始人兼首席执行官Alissa M. Fitzgerald博士表示：作为一种支持多种新兴性能密集型MEMS器件的材料，薄膜PZT的需求量很大。

“然而，对于试图开发PZT MEMS技术的公司来说，在开发阶段获得可靠的商用质量的材料尤其困难。

这是一个问题，因为在制作过程中使用不良的材料会减慢产品开发速度。

但这种情况即将改变。我们与MEMS Infinity的新联盟将从第一天起就为我们的客户提供使用高质量PZT的集成设计到制造解决方案。”

AMFitzgerald-MEMS Infinity的联盟满足了MEMS行业生态系统的关键需求：

• 将AMFitzgerald在MEMS开发方面的专业知识与MEMS Infinity在PZT MEMS方面的航空级原型设计和制造能力相结合。
  
• 为客户提供从设计到生产的无缝体验。
  
• 加强全球对MEMS Infinity薄膜PZT的关注。
  
• 利用薄膜PZT的专有数据来提高MEMS设计和建模的精度，最大限度地减少设计-构建-测试周期的需求，并加快产品开发。
  
• 为客户提供代工厂专用的MEMS设计，从而降低准入门槛，降低风险，降低总体开发成本，并加快商业化进程。
  

“几十年来，住友精密一直使用经过生产验证的高品质PZT工艺来生产MEMS传感器，以满足最苛刻的应用需求。

为了满足日益增长的全球需求，我们通过MEMS Infinity扩张了晶圆代工厂，扩大了我们在PZT MEMS方面的制造能力。与AMFitzgerald合作一起，我们可以为不断增长的市场中的客户需求提供卓越的解决方案。”住友精密的负责人表示。

关于PZT MEMS

压电材料将电能转换为机械能，反之亦然，这一特性使它们可用作传感器或驱动器。

PZT是一种压电材料，可提供性能、效率、环境稳定性和高可靠性的最佳组合。这些特性使PZT MEMS能够在小体积中实现最大的功能，适用于性能密集型应用，例如超声波收发器、微型扬声器、微镜、射频开关和微流体，以及新兴技术设备。

在制备PZT薄膜时，有多种方法可以选择，如溶胶-凝胶法、射频溅射法、脉冲激光沉积等。这些方法的选择主要取决于所需的薄膜厚度、组成、结晶度以及制备成本等因素。

• 溶胶-凝胶法是一种常用的制备PZT薄膜的方法，它通过将PZT前驱体溶液旋涂在基片上，然后经过热处理形成薄膜。
• 溅射法则是通过高能粒子轰击PZT靶材，使靶材原子溅射出来并沉积在基片上形成薄膜。
  
• 脉冲激光沉积则是利用高能激光脉冲照射PZT靶材，使靶材表面瞬间熔化并产生等离子体，等离子体中的原子或分子沉积在基片上形成薄膜。

关于AMFitzgerald

AMFitzgerald 成立于 2003 年，为高价值的航空航天、工业和医疗市场提供 MEMS 芯片设计和产品开发服务。

AMFitzgerald 利用其成熟的制造设计方法，将新兴的硅技术从概念到批量生产，已成功帮助数百家客户（包括众多财富 100 强公司）开发用于商业应用的战略性微电子技术。

关于住友精密

住友精密制品株式会社（SPP）成立于1961年，是精密技术和制造服务的领先供应商。其核心业务能力包括全系列的MEMS相关产品：制造设备、工艺开发、代工生产、测试和制造。

SPP新推出的MEMS Infinity推动了面向不同行业的MEMS传感器和执行器的开发和大规模生产。

MEMS Infinity 拥有 20,000 平方英尺的洁净室，拥有 150 毫米和 200 毫米晶圆制造线，其中包括 PZT 专用图案化设备和专有的高品质因数外延 PZT （epi-PZT） 薄膜沉积。

来源：AMFitzgerald and MEMS Infinity Form Alliance to Accelerate Commercialization of Piezoelectric MEMS Products | Business Wire