真空技术用户指南 A User's Guide to Vacuum Technology

关于本书

介绍现代真空技术的理论和实践及其应用。专注于了解、操作和选择用于半导体、光学和相关技术的真空工艺设备。第 2 版包含有关组件、润滑、泵液和其他材料的新信息。给出了每个高真空泵系统的基本特性和操作程序。

基本信息

书名：A User's Guide to Vacuum Technology
编辑：John F. O'Hanlon (Author)
出版社：Wiley-Interscience; 第 2nd 版 (1989年 4月 24日)
语言：英语
精装：512页
国际标准书号-10：0471812420
国际标准书号-13：978-0471812425

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