微图案和纳米图案聚合物（ACS 研讨会系列） Micro- and Nanopatterning Polymers (ACS Symposium Series)

关于本书

聚合物在电子工业中被广泛使用，既可用于制造集成电路，也可用作成品器件中的组件。除了提供传统微光刻技术的更新外，Micro- and Nanopatterning Polymers 还描述了涉及嵌段共聚物、金属氧化物和其他材料的直接沉积以及图像化学沉积的新图案化技术。它说明了在下一代光刻技术中设计 ArF 准分子激光光刻胶的挑战和机遇。该书包括对材料设计替代方案、酸发生剂化学和化学扩增光刻胶中的酸扩散机制的讨论，这些机制现已在器件制造中取代了酚醛树脂/重氮醌光刻胶。这本独特的书提供了对纳米技术最新突破的见解，是集成电路发展的重要一步。

基本信息

书名：Micro- and Nanopatterning Polymers (ACS Symposium Series)
编辑：Hiroshi Ito (Editor), Elsa Reichmanis (Editor), Omkaram Nalamasu (Editor), Takumi Ueno (Editor)
出版社：American Chemical Society (1998年 10月 1日)
语言：英语
精装：400页
国际标准书号-10：0841235813
国际标准书号-13：978-0841235816

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