微光刻材料：辐射敏感聚合物（ACS研讨会系列） Materials for Microlithography: Radiation-Sensitive Polymers (ACS Symposium Series)
Larry F. Thompson (Editor), C. G. Willson (Editor), Jean M. J. Frechet (Editor)
2024年11月
基本信息
书名：Materials for Microlithography: Radiation-Sensitive Polymers (ACS Symposium Series)
编辑：Larry F. Thompson (Editor), C. G. Willson (Editor), Jean M. J. Frechet (Editor)
出版社：American Chemical Society (1985年 1月 1日)
语言：英语
国际标准书号-10：0841208719
国际标准书号-13：978-0841208711
书籍购买链接
https://www.amazon.com/exec/obidos/ASIN/0841208719/jcnabitylithogra
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