微电子制造的科学与工程（电气与计算机工程中的 ^AOxford 系列） The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication (The ^AOxford Series in Electrical and Computer Engineering)

关于本书

微电子制造科学与工程介绍了微电子加工。面向广大读者，它可以用作一年级研究生和高级本科课程的教科书，也可以作为专业人士的便捷参考。该文本涵盖了用于制造集成电路的所有基本单元过程，包括光刻、等离子体和反应离子蚀刻、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相沉积。此外，还介绍了快速热处理、非光学光刻、分子束外延和金属有机化学气相沉积等先进加工主题。介绍了每个过程的物理和化学，并描述了用于制造集成电路的设备。本文还讨论了将这些工艺集成到 CMOS、双聚双极和 GaAs MESFET 等常见技术中。评估复杂性/性能权衡以及当前最先进设备的描述。每章都包含示例问题和解决方案。该书还利用过程模拟软件包 SUPREM 来演示实际意义上的杂质分布。

基本信息

书名：The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication (The ^AOxford Series in Electrical and Computer Engineering)
编辑：Stephen A. Campbell (Author)
出版社：Oxford University Press (1996年 2月 29日)
语言：英语
精装：560页
国际标准书号-10：0195105087
国际标准书号-13：978-0195105087

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