微纳加工基础 Fundamentals of Microfabrication

关于本书

《微纳加工基础》是第一本研究尝试构建分子大小功能器件的所有方面的书籍。十章详细讨论了光刻、图案转移、湿式和干式散装微加工、表面微加工和 LIGA 等主题。描述了替代微加工技术，并检查了与微机械设备一起使用的电子设备。定义了粘合和封装问题。该书还介绍了量子结构并回顾了分子工程。许多附录以易于访问的格式提供了有价值的信息。

基本信息

书名：Fundamentals of Microfabrication
编辑：Marc Madou (Author)
ASIN：0849394511
出版社：CRC Press; First Edition (1997年 1月 1日)
语言：英语
精装：589页
国际标准书号-10：9780849394515
国际标准书号-13：978-0849394515

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