半导体器件和制造技术的显微光刻基础（塑料工程） Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology (Plastics Engineering)

关于本书

“探索光刻工艺和光刻胶材料的科学和技术，并总结半导体制造的最新创新。考虑光刻和光刻胶材料技术的未来趋势。回顾光、电子束和 X 射线与光刻胶材料的相互作用。

基本信息

书名：Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology (Plastics Engineering)
编辑：Saburo Nonogaki (Author), Ueno Takumi (Author), Toshio Ito (Author)
ASIN：0824799518
出版社：CRC Press (1998年 6月 25日)
语言：英语
精装：336页
国际标准书号-10：9780824799519
国际标准书号-13：978-0824799519

书籍购买链接

https://www.amazon.com/exec/obidos/ASIN/0824799518/jcnabitylithogra