显微光刻：科学与技术 Microlithography: Science and Technology

关于本书

这本自成一体的教科书详细介绍了亚微米显微光刻术的基本和高级方面 - 提供了理论和操作实践的平衡处理，以及该领域当前研究的完整信息。本书包括对电子束、X 射线和近端探针技术的讨论，并通过对文献中关键来源的省时引用以及 600 多个阐明材料的表格、方程式、图纸和照片进行了增强，涵盖了机械系统、光学、准分子激光光源、对准技术和分析、光刻胶化学、加工、多层光刻、等离子体和反应离子蚀刻、 计量学等。

基本信息

书名：Microlithography: Science and Technology
编辑：Bruce W. Smith (Editor), Kazuaki Suzuki (Editor), James R. Sheats (Editor)
出版社：CRC Press; 第 1st 版 (1998年 5月 27日)
语言：英语
精装：800页
国际标准书号-10：0824799534
国际标准书号-13：978-0824799533

书籍购买链接

https://www.amazon.com/exec/obidos/ASIN/0824799534/jcnabitylithogra