微光刻、微加工和微加工手册。第2卷：微加工和微细加工（SPIE 出版社专著第 PM39-PM40 卷） Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication (Spie Press Monograph, Pm39-Pm40)

关于本书

与 IEEE 共同发布。动态的光刻领域需要一本权威的工艺开发和生产手册，以帮助培训科学家和工程师。它包含过程详细信息、配方、表格、图表等，可用作参考书或教科书。

基本信息

书名：Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication (Spie Press Monograph, Pm39-Pm40)
编辑：Prosenjit Rai-Choudhury (Author)
出版社：Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers （1997年 3月 14日）
语言：英语
精装：768页
国际标准书号-10：0819423793
国际标准书号-13：978-0819423795

书籍购买链接

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