哈尔滨工业大学(深圳)——无掩膜光刻机采购公告

项目名称：无掩膜光刻机

项目编号：HITSZWJ250055

公告开始日期：2025-11-18

公告截止日期：2025-11-21

采购单位：哈尔滨工业大学（深圳）

付款方式：预付款50%，到货验收后尾款50%

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签约时间要求：成交后7日内

到货时间要求：签约后60个日历日内

预算总价：800000元

收货地址：C331

供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品：无掩膜版光刻机

采购数量：1

计量单位：台

所属分类：增材制造设备

品牌：TuoTuo Technology

型号：无

预算单价：￥ 800000.0

技术参数及配置要求：▲1最小等间距线栅:不小于1微米 ▲2特征尺寸:不小于0.8微米 ▲3套刻精度:350nm ▲4 XY形成:150mm ▲5样品最大尺寸:不小于150mm*150mm ★6至少支持三个光刻镜头： 光刻镜头1：最小线宽≤6 μm，工作距离≥30 mm 光刻镜头2：最小线宽≤1.5 μm，工作距离≥19 mm 光刻镜头3：最小线宽≤0.8 μm，工作距离≥12 mm ★7.具备交互式套刻指引功能 8.▲具备图像识别对焦功能 9.曝光波长：380 nm 10.数字掩模分辨率：≥1920 × 1080，微镜尺寸≤7.6 um 11.显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 12.▲支持最大样品厚度：≥8 mm ★13.支持样品电动旋转 14.样品吸附：支持样品吸附 15.设备软件：原位光绘功能、物像绑定功能、成像拼接功能、畸变矫正功能 16.画图软件：支持阵列画图、套刻画图 注：带“★”号标记的条款为强制要求，带“▲”号标记的条款为重要指标，无标记条款为一般指标。

售后服务：

附件下载：

附件1-网上竞价需求书（无掩膜光刻机）.doc

附件下载：

附件2-竞价应答文件（供应商填写）.docx

附件下载：

附件3-采购流程联系方式.docx

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无掩膜光刻机（HITSZWJ250055）采购公告