荷兰TNO将于2026年建设6英寸磷化铟 (InP)光子芯片试验生产线

埃因霍温高科技园区 (HTCE) 将开始建造一座新设施和洁净室，用于容纳 TNO（荷兰应用科学研究组织） 的 6 英寸光子芯片试验生产线，这是荷兰扩大集成光子制造规模的重要一步。

“我们受邀投资并提供这座试验生产线所需的厂房和洁净室，”埃因霍温高科技园区首席执行官Otto van den Boogaard表示，“我们携手合作，巩固了自身作为突破性技术和创新基地的地位。”

HTCE 是一个欧洲创新中心，拥有 300 多家从事半导体、光子学和生命科学领域的科技公司和研究机构。 

该设施和洁净室的建设计划于 2026 年 2 月开始，试点生产线预计将于 2027 年左右投入运营。 

建成后，该洁净室每年将能够处理多达 10,000 片晶圆，这标志着从实验室研究到生产的规模显著扩大。

TNO 的总经理 Ton van Mol 表示：“这条光子芯片试点生产线将改变荷兰公司的游戏规则，并改变荷兰未来的盈利能力和繁荣。”

该项目从多个方面推进了光子制造，包括更大的 6 英寸晶圆以提高吞吐量，开放的晶圆制造模式以支持初创企业，以及使中小企业和成熟企业能够将原型扩展到生产规模。

为了使光子芯片得到广泛应用，需要进行规模化生产——而这正是中试生产线的作用所在。该生产线旨在弥合研究与工业制造之间的鸿沟，专注于磷化铟（InP）光子芯片。在6英寸晶圆规模下，中试生产线每片晶圆可生产更多芯片，从而提高工业规模生产的效率并降低成本。这一步骤对于将创新理念转化为可应用于日常产品和系统的实用技术至关重要。

该设施也是 PIXEurope 计划的一部分，这是一项 4 亿欧元的欧洲计划（2025-2030 年），旨在支持光子集成电路的开放式试点生产线。 

在研究机构和行业合作伙伴的支持下，PIXEurope 旨在扩大生产规模、培养熟练人才并加强欧洲的光子学生态系统。

原文相关：https://www.tno.nl/en/technology-science/facilities/photonic-chip-pilot-line/