深圳医学科学院——无掩膜激光直写光刻机意向公开
2025-11-10
深圳医学科学院无掩膜激光直写光刻机意向公开
招标公告 | 预告
仪器仪表
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深圳医学科学院无掩膜激光直写光刻机意向公开
| 采购单位: | 深圳医学科学院 |
| 项目名称: | 无掩膜激光直写光刻机 |
| 预算金额（元）: | 9,000,000.000 |
| 采购品目: | 其他光学仪器 |
| 采购需求概况: | 名称：无掩膜激光直写光刻机 主要功能：在光刻胶、薄膜等材料上加工微米至纳米级图形。 采购数量：1台 质量要求： 分辨率：至少可达最小特征尺寸0.6微米，至少可达最小线宽0.8微米。 2.曝光速度：4英寸晶圆405纳米激光曝光时间[最小值]:35分钟。 服务要求： 1.安装与培训调试： 供应商需提供专业的安装调试服务，提供全面的操作培训和维护培训，确保设备正常运行。 2.售后服务： 提供至少1年免费保修服务。 保修期内免费提供维修和更换服务。 提供24小时技术支持热线，快速响应故障报修。 安全要求：设备需符合相关国标电器安全标准（如CE认证）。 时限要求：合同签订后12个月内完成交货。 |
| 联系人: | 张老师 |
| 联系电话: | 0755-66650028 |
| 预计采购时间: | 2025-12 |
| 备注: | 无 |
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