湖南大学——高精密单面光刻机竞价公告
2025-11-06
高精密单面光刻机竞价公告
招标公告 | 招标
机械设备
学校采购
发布日期：
项目编号：
采购单位：
工 期：
采购产品：
高精密单面光刻机竞价公告
| 项目名称 | 高精密单面光刻机 | 项目编号 | J-2025227 |
| 项目编号 | J-2025227 | ||
| 公告发布日期 | 2025/11/06 10:28 | 公告截止日期 | 2025/11/10 10:28 |
| 公告截止日期 | 2025/11/10 10:28 | ||
| 采购单位 | 湖南大学 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 采购预算 | 未公开 | 币种 | RMB |
| 币种 | RMB | ||
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 送货/施工/服务期限 | 合同签订后 30 天内到货 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 两山一湖中四栋 | ||
| 售后服务 | 按行业标准执行 | ||
| 付款条款 | 国产设备：1.供应商在申请验收前，须先把合同总金额的（0）%作为质保金交到采购人指定账户，并开具合同金额100%发票；2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后，凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的（100）%；3.在验收合格之日起的（1）年后无质量问题，经采购人认可，一次性将合同质保金无息退还供应商。 | ||
采购清单
1
| 采购内容 | 数量单位 | |||
| 高精密单面光刻机 | 1(台) | |||
| 参考品牌及型号 | 成都鑫南光/G-26D4 | |||
| 技术参数要求 | 一．技术参数： 1、曝光类型：单面，接触式； 2、曝光面积：110×110mm； 3、曝光照度均匀性：≥98%； 4、曝光强度：0-40mw/cm2； 5、紫外光束角：≤2°； 6、紫外光中心波长：365nm（也可以配专用曝光头实现g线、h线、I线的组合）； 7、光源质保期：1年； 8、曝光分辨率：0.8μm； 9、曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光； 10、显微镜扫描范围：X： 30mm Y： 30mm； 11、对准范围：X、Y：±5mm，Q：±5°； 12、套刻精度：1μm; 13、分离量；0～50μm可调； 14、接触－分离漂移：≤1μm； 15、曝光方式：密着曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光； 16、找平方式：三点式自动找平； 17、显微系统：双视场CCD系统，显微镜91X～570X连续变倍（物镜1.6X-10X连续变倍），双物镜距离可调范围42mm～100mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器； 18、掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″； 19、基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″； 20、基片厚度：0.1～6mm； 21、曝光定时：0～999.9秒可调； 22、对准方式：手动； 23、曝光头转位：气动； 24、设备所需能源： 电源：单相AC220V 50HZ ，功耗≤1.5KW； 洁净空气压力：≥0.4MPa； 真空度：-0.07MPa~-0.09MPa； 25. 尺寸和重量： 尺寸：机体1000 mm（长）×720 mm（宽）×1700mm（高），重量：≤200Kg； 26、G-26D4型光刻机的组成： 由主机（含机体和工作台），对准用单筒显微镜，LED鹰眼曝光头组成； 27、附件如下： 主机附件：（出厂时安装到机器上） 显微镜组成 单筒显微镜二个 两个CCD 视频连接线 计算机和19"液晶监视器 二．配置： 1．曝光头： LED紫外曝光头一台。 2．CCD显微显示系统： 1）CCD数码摄像机二只； 2）可变倍显微镜二只； 3）计算机图像处理系统一套（含计算机一台、采集卡一件、19″液晶监视器一台、图像处理对位软件一套）。 4）焦距、物距调节台一套； 5）LED同轴照明光源二台。 3．对准工作台； 1）3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件； 2）φ2″、φ3″、φ4″、承片台各一件； 3）三点自动找平机构一套； 4）高精度千分尺对位平台一套； 4．电气控制台： 1）PLC可编程控制器一台； 2）电磁阀及控制系统一套； 3）气动、真空仪表一套。 5．备附件： 1）真空软管（φ8mm）15m； 2）电磁阀七只； 3）紫外光强计一只； 4）无油静音真空泵一台； 5）无油静音空压机一台。 6．技术资料： 1）使用说明书； | |||
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