西湖大学——电子束曝光代工服务采购公告
2025-11-03
电子束曝光代工服务（WLU-FW-KS-NM-2025-1296）采购公告
招标公告 | 招标
服务采购
学校采购
发布日期：
项目编号：
采购单位：
预算金额：
采购产品：
| 项目名称1 | 电子束曝光代工服务 | 项目编号 | WLU-FW-KS-NM-2025-1296 | |
|---|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | 2025-11-03 10:13:44 | 公示截止日期 | 2025-11-06 10:00:00 | |
| 采购单位 | 西湖大学 | 付款方式 | 合同签订后预付70%的款项，代工服务完成后，乙方向甲方提供全额增值税发票，甲方在收到全额增值税发票后【30】日内付清尾款。 | |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 | |
| 到货时间要求 | 预算总价 | ￥ 310,000 | ||
| 收货地址 | ||||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 ; 法定代表人资格证明书 (联系人须与法定代表人一致)/投标授权委托书(联系人须与被授权人一致) (必选) ; 被授权人社保缴纳证明 (近3个月) (必选) | |||
采购清单1
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 电子束曝光代工服务 | 1 | 项 |
| 品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 310,000 | ||
| 技术参数 | 1.电子束曝光代加工服务的总机时为200小时； 2.电压具备100KV，设备分辨率小于50nm； 3.可以作业4英寸及其他不规则小片，可提供4寸晶圆规模套刻电子束曝光，套刻精度20 nm以内； 4.具备涂胶显影、sem测试能力； 5.最小线宽精度≤50 nm； 6.最大曝光面积≥15 mm×15 mm。 | ||
| 售后服务 | |||
2025-11-03 10:13:44
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