弗劳恩霍夫IPMS新设备破解微显示器多层沉积难题

弗劳恩霍夫光子微系统研究所（IPMS）在过去几十年间一直引领微显示器的研发工作，如今在工具领域取得了重大突破。这项新技术是“EdgeVision微显示器项目”（项目编号：03RU2U061C）的一部分，已明确技术规格并获得资助，有望大幅提升高分辨率微显示器制造的效率与质量。其初步成果将在2025年11月3日至4日于哥廷根举办的“2025年SID-MEC会议”上展示。

微显示器的应用范围广泛，涵盖消费电子到专业工业领域，以下是部分核心应用领域：

• 增强现实（AR）与虚拟现实（VR）：为头显设备打造沉浸式体验。

• 可穿戴技术：在智能眼镜、智能手表及健身追踪器中配备小巧且节能的显示器。

• 医疗设备：在内窥镜和诊断仪器中实现高分辨率图像显示。

• 工业应用：为车辆平视显示器（HUD）提供关键信息。

• 相机与投影仪：为数字图像呈现提供紧凑解决方案。

• 国防与航空航天：在驾驶舱和头盔中显示重要信息。

凭借多功能性与紧凑设计，微显示器已成为现代技术的核心组成部分，为各行业创新解决方案的落地提供支持，其市场正快速扩张。

弗劳恩霍夫IPMS是全球唯一一家独立的微显示器技术研发中心，该中心将硅晶圆厂工艺中的背板集成电路设计与硅基OLED制造技术整合于同一机构内。这一优势使其能够研发并制造符合客户需求及特定应用场景的OLED微显示器。此外，科研人员也在为微LED、硅基液晶（LCOS）等其他显示技术开发背板。

为持续保持技术研发领域的领先地位，该研究所现已对其设备技术进行扩充与更新。这项创新技术有望显著提升高分辨率微显示器制造的效率与质量。

弗劳恩霍夫IPMS微显示器与传感器技术部门负责人伯恩德·里希特（Bernd Richter）表示：“借助新设备，我们能够对复杂的有机堆叠层、金属层及氧化物进行热沉积，这不仅能助力我们研发并制造超高分辨率OLED微显示器，还可用于研发有机光电二极管等传感器。这些系统符合行业标准，技术水平先进，且能灵活组合，既满足研发项目的高要求，又能为中试生产提供高效率。”

具体来看，这项新技术实现了更高的生产吞吐量，且大幅优化的过程控制保障了制造流程的稳定性。该系统的新型蚀刻室可对不同供应商提供的晶圆进行多种预处理。

此次技术升级过程中面临的最大挑战，是将新型真空系统组件与现有设备技术进行耦合。科研人员有信心保持竞争力，并为客户提供一站式的独特服务组合：从微显示器设计、初始原型制作到中试生产，全程无需依赖外部合作。

该新型系统计划于10月底完成验收，预计年底前实现全面投产。科研人员坚信，设备产能的扩充将助力研究所稳居微显示器技术前沿，并持续提供从设计、制造到中试生产的一站式独特服务组合。

文章来源：弗劳恩霍夫光子微系统研究所（IPMS）