南京大学——全自动12英寸二维材料微纳制造集成系统
2025-09-29
全自动12英寸二维材料微纳制造集成系统
招标公告 | 招标
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发布日期：
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预算金额：
采购产品：
全自动12英寸二维材料微纳制造集成系统
| 项目名称 | 全自动12英寸二维材料微纳制造集成系统 | ||
| 采购预算(万元) | 185 | ||
| 需求调查时间 | 自需求调查发布起7 日截止 | ||
| 采购需求概况 | 南京大学拟采购全自动12英寸二维材料微纳制造集成系统一套，用于制备多种性质的二维单晶/非晶等薄膜材料。主要采购需求如下：1.溅射系统配有过渡室与镀膜室；2. 真空镀膜室极限真空度：≤6.7×10^-5Pa；镀膜室系统漏率：5×10^-7Pa.l/s；3.薄膜气相沉积系统配有过渡室与反应室；4.反应室极限真空度：≤6.7×10^-5Pa，系统停泵关机后12小时后，真空度≤5Pa；5.样品传送系统：包含机械手，需能够在旋转、伸缩、升降三个维度运动，可根据需求预留接口；6.电控系统：电脑提供独立的实时控制系统的监督界面，串联起样品传送模块、磁控溅射模块、化学气相沉积模块； 7.有效样品尺寸：Φ12英寸，向下兼容；8.溅射片内不均匀性：≤±3％（Φ12英寸平面样品）；8.磁控靶配置：Φ6英寸磁控靶2只，Φ4英寸磁控靶2只，磁控靶安装在上，样品在下，自上而下溅射成膜；9.加热：样品加热：室温-1000℃，采用石墨加热器；10.质保期一年。 | ||
| 需求调查内容 | 1、企业概况。 2、项目相关产业发展情况。 3、可能涉及的运行维护、升级更新、备品备件、耗材等后续采购情况分析。 4、企业与该项目相关产品信息情况。 5、企业与该项目相关历史成交情况。 6、企业与该项目相关特色优势。 | ||
| 响应调查方式 | 1、欢迎点击" 南京大学招标与采购管理系统 "进行登陆或注册(首次登陆请先完成注册)。2、通过系统首页，点击"常用功能-正在需求调查"进行报名，填写或查看企业响应采购需求调查。 3、通过系统首页，点击"常用功能-我参与的调查"，可查看已在本系统响应过的调查项目信息。 | ||
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