深圳稳顶聚芯：首台高精度步进式光刻机顺利出厂！

9月23日消息，近日，深圳稳顶聚芯技术有限公司（以下简称“稳顶聚芯”）宣布，该公司研发的首台国产高精度Stepper（步进式）光刻机顺利出厂。

根据稳顶聚芯官方视频号披露的产品资料显示，这款步进式光刻机属于其WS180i系列，主要应用于mini/micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体领域，能够满足硅片、蓝宝石、SiC等衬底的不同胶厚光刻工艺需求。从具体的参数来看，WS180i系列覆盖了2-8英寸晶圆，分辨率覆盖了1.5μm-0.35μm。

在具体参数方面，WS180i系列优势显著。其晶圆覆盖范围广泛，可处理2 - 8英寸的晶圆；分辨率表现出色，覆盖1.5μm - 0.35μm，能够满足多种精度要求的生产场景。

除了步进式光刻机，稳顶聚芯的产品线丰富多样。公司还拥有套刻及关键尺寸光学量测设备，量测精度高达10nm；超精密光学成像质量评价系统；高性能主动减震系统；晶圆寻边器；晶圆机械手；以及薄膜测量系统，膜厚测量精度范围为10nm - 100μm。这些产品共同构成了稳顶聚芯在半导体装备领域的强大产品矩阵。

稳顶聚芯于2023年5月在深圳南山区成立，注册资本119.21306万元，经营范围广，涉制造、销售及技术服务等多领域。它是集半导体核心装备研发、制造、销售于一体的高科技企业，产品聚焦半导体工艺制程装备，应用广泛。公司在深圳有超2000平米厂房，配备高洁净度车间，保障研发生产。稳顶聚芯核心团队实力雄厚，超85%成员有国内外知名大学研究生学历，多来自国内顶尖半导体科研院所及全球500强企业，经验丰富、研发与制造能力强，理念创新。

在2025年2月20日的“科创宝安・创投荟”上，稳顶聚芯发布了其光刻机整机研发成果。公司强调，产品聚焦于成熟工艺制程的半导体前道光刻工艺制造，拥有2000多平方米的研发及生产厂房和一支高素质的研发团队。同时，公司发布了1亿元的融资需求，旨在进一步扩大生产规模、提升研发能力。

据介绍，目前稳顶聚芯已具备年产20台光刻机整机的产能。公司对未来发展充满信心，预计2025年营收将达到1.4亿元，实现净利润4480万元。

文章来源：公众号半导体封测