西安交通大学——气压式多功能纳米压印机采购公告
2025-09-23
气压式多功能纳米压印机（XJD2025092300001）采购公告
招标公告 | 招标
机械设备
发布日期：
项目编号：
采购单位：
工 期：
采购产品：
气压式多功能纳米压印机(XJD2025092300001)采购公告
| 项目名称 | 气压式多功能纳米压印机 | 项目编号 | XJD2025092300001 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2025-09-23 09:59:25 | 公告截止日期 | 2025-09-26 12:00:00 |
| 采购单位 | 西安交通大学 | 付款方式 | 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 |
| 签约时间要求 | 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求 | 发布竞价结果后30天内送达 |
| 预算总价 | ***** | 币种 | 人民币 |
| 收货地址 | 陕西省西安市长安区**** | ||
| 现场踏勘 | |||
| 供应商资质要求 | 无 | ||
采购清单 1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 附件 |
|---|---|---|---|
| 气压式多功能纳米压印机 | 1.00 | 无 |
| 品牌 | 不限 |
|---|---|
| 型号 | 不限 |
| 预算单价 | ***** |
| 规格参数 | 一、 系统主要功能 1.1、 该设备用于紫外、热压纳米压印工艺过程，可实现高精度纳米结构复制，包含工作模具复制和 高精度纳米压印，以及前道工序匀胶的功能。 1.2、 具备自动压印、自动紫外固化、热固化、自动脱模，匀胶等功能，工艺过程可通过控制界面进 行工艺参数设定。 二、系统参数要求 1、 设备加压方式 ★1.1、压印过程必须保持在真空环境下进行，为保证压印过程中迅速贴合并避免气泡产生，压印环 境真空度：＜-100Kpa； ★1.2、压印过程中必须保持样品表面在固化过程中保持持续的压力，以保证压印材料在固化过程中 模板与样品的紧密贴合，并尽可能避免紫外固化材料固化过程带来的缩胶影响； ★1.3、压印均一性优于 99.5%，以保证后续刻蚀工艺均一性要求； 2、纳米压印工位 2.1、设备适用 4 英寸及以下晶圆的压印，兼容各类衬底材料； 2.2、可实现自动压印和脱模过程，无需人工干预，无需手动脱模，以保证生产可靠性； 2.3、4 英寸晶圆贴合速度＜10s ，脱模速度＜10s； 2.4、设备内可完成纳米压印和工作模具复制功能； 2.5、工作模具须满足柔性，硬质模板压印需求： 3、加热功能 ★3.1、满足热压功能，控温范围为室温≥300℃，设置精度≤1℃； 3.2、冷却系统采用循环气冷； 4、 紫外固化功能 4.1、曝光强度：≤800mW/cm2，UV LED 面光源，波长为 365nm，曝光面积≥φ100mm，具备寿 命监控功能； 5、软件操作系统 5.1、试验：手动单片控制 5.2、Recipe 编辑：unit recipe，process recipe，lot recipe 三级编辑，逻辑清晰； 三、验收指标 ★3.1、支持最小分辨率不高于 5nm 的平面压印； ★3.2、支持无残余层压印工艺； ★3.3、结构转印精度：压印结构与原始模具对比差≤±3%； ★3.4、支持曲面压印，支持微透镜阵列曲面压印；四、售后服务与培训 |
| 售后服务 | 1.货期：合同签订后 1个月内发货 2.保修期：整机系统保修三年。自交货验收合格之日算起。质保期内无偿提供系统维护、问题修改等服务工 作，包括现场技术支持和电话支持。售后电话技术服务：承诺 7×24 小时不中断呼叫服务，接到技术问题 后 2 小时内给出详细的解决方案，若方案无法解决问题，改为上门服务； 3.设备安装调试：设备到达用户所在地后，在接到用户通知后 1 周内执行安装调试。 4.技术培训：安装工程师在用户现场免费对用户进行基本培训；培训内容包括仪器的结构介绍、技术原理、 仪器操作使用、操作软件使用、日常保养及维护等。 |
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