新型光刻技术商Eulitha 出货多套系统，助力 VCSEL 应用快速增长

随着市场需求的增长，亚洲VCSEL代工厂选择Eulitha的光刻工具进行6英寸生产。

2025年9月10日，瑞士——先进光刻解决方案供应商Eulitha AG宣布了一项重要的里程碑：多家亚洲VCSEL（垂直腔面发射激光器）代工厂已采用其DUV（深紫外）图案化平台进行6英寸晶圆生产。Eulitha近期已交付多套系统，以满足激光雷达、3D传感、数据中心以及下一代光通信等应用领域对VCSEL快速增长的需求。

Eulitha 技术的采用标志着制造商的战略转变，旨在满足日益增长的对具有成本竞争力的高分辨率图案化的需求，尤其是在 VCSEL 设计日益复杂的情况下。

VCSEL 需求不断增长，推动可扩展光刻技术需求

VCSEL 技术正在全球范围内蓬勃发展，这得益于其在自动驾驶汽车高性能激光雷达系统、消费电子产品 3D 人脸识别以及数据中心节能光互连方面的关键作用。此外，偏振传感——一种利用特殊结构 VCSEL 实现的新兴技术——可在生物识别和工业传感领域提升精度和对比度，从而推动进一步的创新和市场扩张。

这波创新浪潮需要能够在6英寸晶圆上实现极高分辨率、可重复性和高吞吐量且经济高效的图案化技术。Eulitha的技术拥有独特的优势，能够满足这些需求。

Eulitha的光刻技术

Eulitha 的工具平台采用专有的非接触式光学光刻技术，即位移塔尔博特光刻 (DTL)，从而带来一系列优势。高分辨率、高精度图案化是先进 VCSEL 阵列的理想选择，其大曝光场可一次性覆盖整个 6 英寸晶圆，从而减少拼接误差并提高均匀性。该系统支持高吞吐量生产，并可在不同晶圆和生产批次之间实现一致的结果。DTL 的一个关键特性是大焦深 (DOF)，这使得在非平坦晶圆上也能进行​​图案化。这些功能共同提升了器件性能，增强了工艺控制，并降低了制造商的单片成本。

支持光子学的未来

Eulitha 首席执行官 Harun Solak 博士在 DFB 应用市场服务多年后表示：“VCSEL 技术发展迅速，市场需要能够跟上这一步伐的光刻设备。我们的 PhableX 系统使亚洲客户能够自信地扩大 6 英寸 VCSEL 的生产规模，提供所需的精度和生产力，以满足激光雷达和光互连等关键领域日益增长的需求。”

随着全球客户群的不断增长以及对精密光子制造的承诺，Eulitha 准备在未来的高性能光电设备中发挥核心作用。

关于 Eulitha AG

Eulitha 为光子学应用提供光学光刻解决方案。Eulitha 总部位于瑞士，提供 PhableR、PhableX 和 PhableS 等创新平台，为光学元件、AR/VR 设备和半导体激光器提供经济高效的高分辨率图案化。其独特的技术被全球领先的制造商和研究机构所采用。www.eulitha.com