加拿大公司Xanadu 携手三菱化学推进极紫外光刻量子模拟

光子量子计算领域的全球领导者 Xanadu 与三菱化学启动联合项目，旨在通过量子计算推动新型半导体芯片制造技术的发展。该合作致力于开发新型量子算法，用于模拟极紫外（EUV）光刻中的量子过程。EUV 光刻是一种利用极短波长光进行晶圆构图的技术，对研发尺寸更小、结构更复杂的微芯片至关重要。

EUV 光刻已成为推动集成电路持续微型化的关键晶圆构图技术，支撑着智能手机、超级计算机和人工智能等前沿技术的发展。然而，随着器件特征尺寸不断缩小，俄歇衰减等量子效应愈发显著，复杂的电子相互作用使得光刻过程的模拟面临挑战。量子计算因其能够直接模拟量子系统动态及光与物质的相互作用，为突破这一限制提供了新路径。

在本次合作中，三菱化学材料设计实验室的研究人员将提供 EUV 光刻胶材料的深度专业知识，包括分子结构、成分及反应特性，并对 EUV 吸收、俄歇衰减和二次电子效应等关键物理过程进行基础解析与定量分析。Xanadu 的量子算法团队则将发挥算法设计专长，构建模拟光与物质相互作用及二次电子效应的计算模型。

“芯片微型化的持续突破依赖于 EUV 光刻技术与高性能光刻胶材料的创新。精确建模这些材料与 EUV 光的相互作用仍是重大挑战。利用量子计算机模拟此类相互作用，为解决这一问题开辟了令人兴奋的新前沿，也为探索下一代半导体材料特性提供了路径。”Xanadu 高级量子科学家 Torin Stetina 表示。

“加拿大凭借数十年的战略投资与创新，已成为全球量子科技领域的领导者。在此背景下，加拿大驻日本大使馆商务参赞 Louis-Pierre Émond 先生表示：‘加拿大全球事务部贸易专员服务处（东京）很高兴见证 Xanadu 与三菱化学的合作落地。’”

该合作旨在确立量子计算在半导体材料领域的首个实际应用场景。开发可模拟半导体光刻相关光物质相互作用的量子算法，是 Xanadu 实现 “构建普惠可用的量子计算机” 使命的重要一步。

 Xanadu公司简介

Xanadu 是一家加拿大量子计算公司，致力于构建普惠可用的量子计算机。自 2016 年成立以来，Xanadu 已成为全球领先的量子硬件与软件企业之一，并主导开源量子计算软件库 PennyLane 的开发。