华鑫微纳8英寸MEMS晶圆全自动生产线正式投产！

蚌埠日报讯，在5月24日上午开幕的第七届智能传感器产业发展大会上，安徽华鑫微纳集成电路有限公司发布：8英寸晶圆生产线首批产品成功串线，这标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线在蚌正式投产。

安徽华鑫微纳集成电路有限公司副总经理 丁敬秀：“今天我们8英寸生产线的第一个全流程产品，正式串线成功，它标志着我们这条产线的系统 设备、质量等等，都已经达到一个相对比较完善的水平。”

华鑫微纳主要从事MEMS晶圆制造，可加工产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS器件等，主要应用于高端装备、汽车电子等领域。该项目是全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线。全部建成投产后，将具备月产3万片晶圆的能力，成为国内产出最大的MEMS晶圆生产线。

东南大学首席教授 中国兵器工业集团特聘首席科学家 宋爱国：“8英寸的晶圆是很多传感器，比方说像这种压力传感器，是最基础的材料和部件。所以，它的建成，特别是产业化这一块以及技术进步这块，意义是非常大的。”

8英寸MEMS晶圆生产线项目是国家集成电路生产力布局的重大项目，也是国家发改委、国资委、工信部、安徽省关注的重大工程项目，2024年被列入国家重点工程。

中国传感器与物联网产业联盟常务副理事长 郭源生：“作为敏感技术与传感器行业里面，能有这么一条完整的生产线，无疑是对传感器产业化的发展起到了积极的支撑作用。国内26000多个品种，有7000个常用的，我们缺乏的都是共性的工艺支撑。比方说我们的大多数芯片，67%的低端的都要依赖进口，高端的100%都要依赖进口。那么有了这条8英寸的生产线，无疑是对传感器产业链的构架和产业的格局，打破过去的这种产业格局，都是有积极的作用的。”

华鑫微纳位于中国传感谷，定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业以及国内领先的“开放式、定制化MEMS代工平台基地”。这意味着，智能传感器的核心部件——MEMS芯片，将在蚌埠生产并向全球的智能传感器企业供货，为整个产业链安全提供有力支撑。

华鑫微纳8英寸MEMS晶圆全自动生产线介绍

华鑫微纳成立于2022年3月，项目总投资约50.6亿元，产线位于中国（蚌埠）传感谷东侧地块，项目建设用地150余亩，分二期建设，一期总建筑面积约75000平方米，主要包含生产厂房、动力厂房、生产研发楼、仓库等。

2022年11月，华鑫微纳MEMS芯片产线项目获得国家发改委审批，是国家集成电路生产力布局的重大项目，也是发改委、工信部、安徽省关注的重大工程项目，项目目标通过自主可控的关键核心技术推动中高端MEMS器件的国产化替代进程。

华鑫微纳定位于8英寸MEMS智能传感器核心器件制造平台，是集成硅基MEMS、压电MEMS、CMOS-MEMS单片集成及2.5D/3D微系统技术于一体的开放式、定制化柔性MEMS芯片生产线，拥有惯性传感器、光MEMS执行器（包括光MEMS微镜、激光雷达扫描镜、光通信微镜等）、环境传感器（压力、温度、气体、流量等）以及MEMS微流控、MEMS喷墨打印头、MEMS时钟谐振器等全面、完善的MEMS产品的工艺研发和量产能力。

相比国内同类MEMS产线，华鑫微纳在产线自动化方面处于国内领先地位，部署了智慧能源、数字孪生、智能仓储等系统，已建成国内首条全自动天车系统的8英寸晶圆产线，实现超90%自动化率和近无人化生产。

华鑫微纳MEMS芯片产线在2023年3月开展基础施工，同年8月份厂房封顶，2024年9月份设备进场，2025年3月份完成工艺、设备调试，同月，华鑫微纳MEMS芯片产线第一片晶圆下线，产线建设历时2年时间。

目前华鑫微纳正进行两款产品的导入，预计6月份华鑫微纳产线生产的首款MEMS芯片产品将实现试产下线，并在9月份实现量产，四季度达产。

产能方面，华鑫微纳达产后预计月产8英寸晶圆1万片，到2027年将达到规划月产3万片。

华鑫微纳团队拥有21年的MEMS产品工艺研发经验，主要基于体硅工艺研发陀螺仪、加速度计、光MEMS微镜等高性能MEMS器件。

对未来华鑫微纳的MEMS代工业务规划，安徽华鑫微纳集成电路有限公司副总经理张胜兵介绍华鑫微纳将聚焦3大部分：

第一类为成熟产品，包括硅麦克风等消费级MEMS传感器，以及压力、温度等环境类MEMS传感器产品，这部分产品将是华鑫微纳未来代工业务出量的大头，预计占据产能的50%~60%。

第二类为核心产品，将是华鑫微纳高利润的来源，主要聚焦中高性能的汽车级、工业级传感器，譬如车规级压力、惯性传感器，工业级MEMS光开关、微镜、MEMS谐振器等，这也是华鑫微纳的拳头产品，预计占据产能的30%~40%。

第三类为战略产品，主要为压电MEMS产品，华鑫微纳布局了压电喷墨头、压电微流控等器件，以及电容式MEMS超声波换能器（CMUT）、微泵、多光谱成像等等先进前沿的MEMS产品技术，预计占据产能的5%~10%。

从成熟产品、核心产品到战略产品，从消费级MEMS到车规级、工业级MEMS，再到压电MEMS、CMUT等前沿MEMS产品，华鑫微纳构建了清晰的阶梯级产品规划，这个战略规划也展现了华鑫微纳的技术优势。