【采购意向】广东省科学院半导体研究所——扫描透射电子显微镜
2025-04-11
广东省科学院半导体研究所2025年04月至2025年06月政府采购意向
招标公告 | 预告
仪器仪表
发布日期：
采购单位：
预算金额：
采购产品：
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2025年04月至2025年06月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 扫描透射电子显微镜 | 标的名称：扫描透射电子显微镜 标的数量：1 主要功能或目标：扫描透射电子显微镜提供微米至纳米级的表面细节成像，用于半导体晶圆表面缺陷检测、光刻胶与图形工艺分析、器件局部失效定位分析、并可与能谱结合进行化学元素定性定量分析。 需满足的要求：电子枪类型：高稳定度肖特基场发射电子枪；2、分辨率：扫描透射模式（STEM） 30kV时≤0.9 nm，二次电子相1 k V时≤2nm；3、最大电子束流：不小于18nA；4、探测器：扫描透射探测器，样品室二次电子探测器，透镜内探测器，光学导航相机；5、加速电压：最高30kV；6、能谱仪：有效面积不低于60mm2； | 《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《关于运用政府采购政策支持脱贫攻坚的通知》（财库〔2019〕27号） | 3,770,000.00 | 2025年06月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
2025年04月11日
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