【招标】哈尔滨工业大学（深圳）——外延层厚度与微结构分析系统意向公开
2025-03-27
哈尔滨工业大学（深圳）外延层厚度与微结构分析系统意向公开
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哈尔滨工业大学（深圳）外延层厚度与微结构分析系统意向公开
| 采购单位: | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 项目名称: | 外延层厚度与微结构分析系统 |
| 预算金额（元）: | 2,800,000.000 |
| 采购品目: | 光学式分析仪器 |
| 采购需求概况: | 采购一台傅里叶变换红外光谱仪和一台微纳结构检测系统。傅里叶变换红外光谱仪用于外延层厚度分析，支持最大晶圆尺寸8英寸，膜厚测量范围1nm~200μm，测试精度±0.1nm。微纳结构检测系统是一台定制化原子力显微镜，用于外延层上刻蚀微结构的粗糙度、垂直度检测。支持测量模式：接触、智能扫描、轻敲、相位成像、抬起、暗抬起；扫描范围：不小于90μm x 90μm x 10μm；支持最大晶圆尺寸：6英寸；Z方向噪音水平：<0.5？；XY方向噪音水平：<0.15nm。 |
| 联系人: | 简老师 |
| 联系电话: | 13760147291 |
| 预计采购时间: | 2025-05 |
| 备注: | 无 |
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