【招标】福州大学采购一批微纳光学元件
2025-03-18
微纳光学元件一批（JJ2025000018）采购公告
招标公告 | 招标
材料配件
发布日期：
项目编号：
采购单位：
工 期：
采购产品：
微纳光学元件一批（JJ2025000018）采购公告
| 项目名称 | 微纳光学元件一批 | 项目编号 | JJ2025000018 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2025-03-18 | 公告截止日期 | 2025-03-21 |
| 采购单位 | 福州大学 | 付款方式 | 内贸：全部货物交货并最终验收合格后，乙方向甲方提供全额的正式发票（10万元以上的国产设备乙方必须提供全额的增值税专用发票），甲方凭验收合格材料向乙方支付100%的合同款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 预 算 | --- 468400.0 | ||
| 收货地址 | 福州大学旗山校区辰光楼 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单 1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 微纳光学元件一批 | 1 | 批 | 无 无 |
| 品牌 品牌1 | 详见技术参数 |
|---|---|
| 型号 | 详见技术参数 |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 预算 | ￥468400.0 |
| 技术参数及配置要求 | 序号 货物名称 品牌型号 数量 1 非晶硅偏振/光谱微纳光学滤光片 非标定制 20 2 氮化硅微纳光学衍射型超构透镜 非标定制 8 3 金偏振/光谱微纳光学滤光片 非标定制 4 4 石英微纳光学衍射元件 非标定制 9 主要技术参数： 非晶硅偏振/光谱微纳光学滤光片： 1.按照甲方提供的光学版图供货；材料SK1300石英衬底上沉积200nm Si;衬底需双面抛光 2.最小线宽50nm；最小间距20nm；刻蚀200nmSi；剥离150nmCr 3.最小特征尺寸70nm，最大深宽比为3.5：1 4.非晶硅超表面线宽误差200nm以上±5%，200nm以下±10nm 5.非晶硅结构侧壁陡直度87°±3° 6.非晶硅薄膜厚度误差±5% 7.沉积厚度250nm Cr，Cr膜误差±10nm 8.Cr层和Si层之间套刻误差 ±1um 9.片源在3mmX3mm视场下，直径为20μm以下脏点不超过10个，直径为50μm以下不超过1个 10.微纳光学结构尺寸不小于1.5mm×1.5mm 11.交付形式为实物光学元件，且提供的样品必须符合技术指标 氮化硅微纳光学衍射型超构透镜： 1.按照甲方提供的光学版图供货；材料SK1300石英衬底上沉积700nm氮化硅;衬底需双面抛光 2.氮化硅超表面线宽误差200nm以上±5%，200nm以下±10nm 3.最小特征尺寸100nm，刻蚀深度700nm，最大深宽比为7：1 4.氮化硅膜层厚度误差±5% 5.氮化硅结构侧壁陡直度为85°±5° 6.沉积厚度150nm Cr，Cr膜误差±10nm 7.Cr层和Si层之间套刻误差 ±1um 8.片源在3mmX3mm视场下，直径为20μm以下脏点不超过10个，直径为50μm以下不超过1个 9.微纳光学结构尺寸不小于1.5mm×1.5mm 10.交付形式为实物光学元件，且提供的样品必须符合技术指标 金偏振/光谱微纳光学滤光片： 1.按照甲方提供的光学版图供货；材料SK1300石英衬底上沉积20nm Au;衬底需双面抛光 2.最小线宽50nm；最小间距20nm；刻蚀20nmAu 3.最小特征尺寸50nm 4.金超表面线宽误差200nm以上±5%，200nm以下±10nm 5.金结构侧壁陡直度87°±3° 6.金薄膜厚度误差±5% 7.单元周期尺寸300-1000nm 8.不同层之间套刻误差 ±1um 9.片源在3mmX3mm视场下，直径为20μm以下脏点不超过10个，直径为50μm以下不超过1个 10.微纳光学结构尺寸不小于1.5mm×1.5mm 11.交付形式为实物光学元件，且提供的样品必须符合技术指标 石英微纳光学衍射元件： 1.按照甲方提供的光学版图供货；材料SK1300石英衬底刻蚀衍射结构;衬底需双面抛光 2.衍射元器件结构线宽误差±500nm 3.刻蚀误差200nm以下±10nm，200nm以上±5% 4.结构侧壁陡直度87°±3° 5.沉积厚度130nm Cr，Cr膜误差±10nm 6.Cr层与衍射结构紫外套刻误差±1微米 7.片源在3mmX3mm视场下直径为20μm以下脏点不超过8，直径为50μm以下不超过1个 9.不少于八阶量化加工尺寸，等比三次刻蚀 10.微纳光学结构尺寸不小于1cm×1cm 11.交付形式为实物光学元件，且提供的样品必须符合技术指标 供货附加条款： 1.所有货物必须按照甲方提供版图定制。 2.合同签订后4个工作日内交货。 |
| 售后服务 | 质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:国内;维修响应时限:报修后24小时内响应;电话支持:7×8小时;备用机:72小时内无法排除故障，免费提供同档次备用机;质保期外:质保期外承担终身维修服务，维修过程只收取配件费，且以最优惠价格提供;无; |
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