【招标】深圳医学科学院——电子束光刻系统意向公开
2025-02-28
深圳医学科学院电子束光刻系统意向公开
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医疗卫生
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深圳医学科学院电子束光刻系统意向公开
| 采购单位: | 深圳医学科学院 |
| 项目名称: | 电子束光刻系统 |
| 预算金额（元）: | 30,000,000.000 |
| 采购品目: | 电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况: | 电子束光刻系统 主要功能：电子束光刻系统是一种在半导体制造、纳米技术等领域具有重要作用的高精度微纳加工设备。1.超大面积区域上的超快写入速度使得能够直接制作芯片级图案的原型，无需使用投影光刻技术，也无需使用（对于探索性工作而言）成本高得令人望而却步的掩模。 2无需掩模：直接写入技术消除了对昂贵光刻掩模的需求，使其成为制作原型和小批量生产的理想选择。 3.定制图案的灵活性：能够直接从计算机辅助设计（CAD）文件创建复杂的定制图案，无需额外的处理步骤。 4.高分辨率：能够制造出分辨率小于 10 纳米的图案，超越了现有光刻技术的分辨率极限。 采购数量：1台 质量要求： 1.电压：50千伏; 2.最小线宽：在100微米的范围内，最小线宽≤8纳米; 3.套刻精度：在500微米的范围内，≤±8纳米；在1000微米的范围内，≤±10 纳米; 4.拼接精度：在500微米的范围内，≤±10纳米；在1000微米的范围内，≤±10 纳米; 5.最大视场：在50千伏电压下为1000微米；在25千伏电压下为2000微米; 6.扫描速度：200至400兆赫兹。 服务要求： 1.安装与培训调试： 供应商需提供专业的安装调试服务，提供全面的操作培训和维护培训， 确保设备正常运行。 2.售后服务： 提供至少3年免费保修服务。 保修期内免费提供维修和更换服务。 提供24小时技术支持热线，快速响应故障报修。 安全要求：设备需符合相关国标电器安全标准（如CE认证）。 时限要求：合同签订后6个月内完成交货。 |
| 联系人: | 张老师 |
| 联系电话: | 0755-66650028 |
| 预计采购时间: | 2025-04 |
| 备注: | 无 |
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