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【招标信息】深圳大学——电子束曝光机意向公开

2025-02-28
深圳大学电子束曝光机意向公开
招标公告 | 预告
科教文卫
有联系方式
发布日期:
2025-03-04
采购单位:
预算金额:
480.00万
公告联系方式:
深圳大学电子束曝光机意向公开
采购单位:深圳大学
项目名称:电子束曝光机
预算金额(元):4,800,000.000
采购品目:教学仪器
采购需求概况:电子束曝光是由高能量电子束和光刻胶相互作用,使胶由长(短)链变成断(长)链,实现曝光,相比于光刻机具有更高的分辨率,主要用于制作光刻掩模版、硅片直写和纳米科学技术研究。
预计采购时间:2025-3
联系人:陈老师
联系电话:13252981106
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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