又一项目中标！ 国产200kV超高稳定度直流高压电源商业化

近日，据【微纳视界】招投标信息，粤港澳大湾区（广东）国创中心粒子应用中心直流高压电源采购项目成交公告显示，苏州博众仪器科技有限公司中标该项目。该公司于2024年9月发布200kV超高稳定度直流高压电源。

【中标】粤港澳大湾区（广东）国创中心粒子应用中心直流高压电源采购项目

高压电源

高压电源是现代电力电子技术的重要研究课题之一，被广泛应用于电子显微镜、离子注入机、电子束曝光机等静电装置中。在电子显微镜领域，高压电源为电子源发射的电子提供加速电压。电子显微镜和电子束光刻机等微纳电子束设备，是利用高压电源加速电子束与物体进行接触以观测和加工，若加速电压及偏压不稳定，则电子入射至标本的深度也会不稳定，造成成像不清晰。因此，高压电源的稳定性是电子束设备实现高分辨率的最重要因素之一。

海外电子束高压电源领域在其早期已经积累了相当长时间的研发经验和产品迭代。能够提供适用于SEM的低纹波、高稳定性的高压直流电源的主要厂商包括美国Advanced Energy、Spellman；日本松定精密等。中国在精密测量仪器领域的高稳定性高压直流电源的起步较晚，导致该领域的整体研发水平仍处于初级阶段。

2024年9月，苏州博众仪器科技有限公司推出两款新产品：“200kV超高稳定度直流高压电源”和“15A高稳定度恒流源”。据博众仪器介绍，本次发布的超高稳定度高压电源实现了200kV高压、高稳定输出，其稳定度优于10ppm、纹波优于10ppm（如需更高性能指标还可特殊定制），相关性能已达到国内领先水平。

据博众仪器介绍，“200kV超高稳定度直流高压电源”和“15A高稳定度恒流源”是博众仪器技术发展战略布局中的重要一环，也是博众仪器全面实现电子束控制技术的关键一步。目前，该系列产品已作为成熟产品对外销售，并可提供定制化服务（详细产品信息可至博众仪器官网获取）。本次产品发布，不仅体现了博众仪器产业技术的深厚积累，也是对国内高端仪器设备行业发展的有力推动。未来，博众仪器将不断提升技术，持续拓展市场，为科技进步和高质量发展增添动力。

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博众仪器成立于2020年3月，专注基于电子束技术的高端装备研、产、销，主营透射电子显微镜及其核心部件，如：肖特基电子源、超高稳定电源（包括高压电源及恒流电源）、高精度控温冷水机等产品，并提供电子枪、高压电源、磁透镜等整体解决方案。