【拟建公告】东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司——高端半导体良率管理设备研发升级及产业化项目

2024-10-22

高端半导体良率管理设备研发升级及产业化项目

拟建公告|审批机械设备有联系方式有附件

发布日期：

2024-10-214小时前获取

被提及单位：

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公告联系方式：

高端半导体良率管理设备研发升级及产业化项目

建设地点：北京经济技术开发区亦庄新城0606街区YZ00-0606-0034地块

公示时间：2024-10-21至2024-10-25

受理时间：2024-10-21

项目概况：建设单位拟投资171539.06万元，建设“高端半导体良率管理设备研发升级及产业化项目”（以下简称“本项目”），属于新建项目。项目位于北京经济技术开发区亦庄新城0606街区YZ00-0606-0034地块，占地面积24526.2m2，总建筑面积67839.55m2。

环评文件全本公示稿：

东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司高端半导体良率管理设备研发升级及产业化项目环境影响报告表（公示稿）.pdf

项目生产内容及规模：

搭建生产厂房，购置设备，搭建一条功能完备的生产线，用于电子束检测设备（EBI）、电子束量测设备（CD-SEM）、复检设备（DR-SEM）以及高能电子束晶圆量测设备（HV-SEM）的研发与生产，达产年可实现产能 160 台/年。