国内首条12英寸MEMS量产线投产，MEMS晶圆产能达2万片/月

近日，广州增芯科技有限公司（简称：增芯科技）12英寸晶圆制造项目在广州增城投产启动，该项目建设有国内首条、全球第二条的12英寸MEMS智能传感器晶圆制造产线。

增芯科技12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造产线项目，位于广州增城经济技术开发区，增芯科技总经理张亮表示：“从2022年12月项目动工，到2023年9月主体结构封顶，一共用了9个月零6天，再到2023年12月完成首台设备搬入，2024年6月进入投产阶段，最大感受就是‘快’。”

该项目一期投资70亿元，规划月产能2万片MEMS晶圆，一期工艺技术采用MEMS力学传感器和130-55纳米成熟制程。量产的芯片主要应用在新能源汽车、高端装备、人工智能、工业互联网等领域，预计今年底实现产品交付客户。该项目顺利建设量产能够较大满足粤港澳大湾区智能传感器需求，对促进广东省集成电路产业高质量发展具有重要意义。

“增芯科技可以在广州增城生产第一批芯片产品了！”现场，增芯科技总经理张亮难掩激动。他介绍，芯片完整的制造流程涉及气相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蚀、离子注入等步骤，分别对应不同设备。投产仪式的启动，意味着项目已建立起制造系统，整个生产流程能够连贯地运作。后续，增芯将通过产品良率提升和产能爬坡，加快MEMS产品交付工作。

随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技术的快速发展，先进智能传感器芯片大有可为。面向粤港澳大湾区这一全球传感器最大的应用市场，增芯科技专注于MEMS、先进模拟/混合信号等特色芯片制造技术领域。

“增芯科技采取差异化竞争策略，专注于高附加值的MEMS传感器及特色细分产品市场段。”增芯科技总经理张亮表示。“我们主攻的12英寸55nm-90nm工艺产品，具有性能功耗平衡、高集成度、成本效益和成熟度稳定等技术特点，在多个应用领域具备广泛适应性，市场份额稳定。”这些特性使得“增芯出品”有望在半导体市场取得独特的地位。

据悉，增芯项目由广州智能传感器产业集团发起，于2021年4月成立，定位为国内第一家专业定制化12英寸传感器晶圆厂，针对智能化、微型化等物联网应用领域中的核心器件（如力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套ASIC芯片等），打造集研发、量产制造、封测与应用一体的先进制造平台，产品包括三大类工艺产品MEMS、BCD及逻辑工艺，对广州市及广东省的集成电路产业发展具有重要意义。

据官网介绍，增芯科技按照“一次规划、分步实施”原则，计划用5年时间投资370亿元，在广州市增城区建设两座智能化晶圆厂，总产能达到12万片/月。

其中，增芯项目第一座晶圆厂（FAB1）分两期，第一期产能2万片/月，总投资70亿元；第二期产能4万片/月，总投资100亿元；第二座晶圆厂（FAB2）为第三期，产能6万片/月，总投资200亿元。第一座晶圆厂预计2026年满产，第二座晶圆厂预计2027年满产。